दोनोंवैक्यूम पंप और कंप्रेसरगैस प्रसंस्करण के लिए उपकरण हैं, लेकिन उनके काम करने के सिद्धांत और आवेदन के दायरे अलग हैं।
वैक्यूम पंप का मुख्य कार्य एक पूर्व निर्धारित वैक्यूम डिग्री प्राप्त करने के लिए कंटेनर में दबाव को कम करने के लिए प्रतिक्रिया कक्ष से गैस को हटाना है। वैक्यूम स्थिति बनाने के लिए गैस को सक्शन और निकास तंत्र के माध्यम से अंतरिक्ष से निकाला जाता है। वैक्यूम पंप आमतौर पर प्रयोगशालाओं, उत्पादन और विनिर्माण क्षेत्रों में उपयोग किए जाते हैं। वेफर फैब्स, नक़्क़ाशी उपकरण, बयान उपकरण, ईयूवी लिथोग्राफी उपकरण, आयन आरोपण उपकरण, पता लगाने और लक्षण वर्णन उपकरण आदि में सभी को वैक्यूम करने की आवश्यकता है।
कंप्रेसर का कार्य गैस को साँस लेना और उसे संपीड़ित करना है, गैस के दबाव को बढ़ाता है, गैस को एक छोटी मात्रा में संपीड़ित करता है, और गैस के घनत्व और दबाव को बढ़ाता है। इसका काम करने का सिद्धांत निकास वाल्व के माध्यम से गैस को संपीड़ित करना है, और फिर संपीड़ित गैस को गैस टैंक या अन्य उपकरणों में रखना है। कंप्रेशर्स का उपयोग आमतौर पर प्रसंस्करण और विनिर्माण क्षेत्रों में किया जाता है। जिस सीडीए गैस के बारे में हम अक्सर बात करते हैं वह कंप्रेसर द्वारा प्रदान किया जाता है। सीडीए का उपयोग विभिन्न स्वचालन उपकरणों और वाल्वों को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है। अर्धचालक विनिर्माण के लिए, सीडीए बहुत शुद्ध और शुष्क होना चाहिए। कंप्रेसर द्वारा हवा के उत्पादन को तेल, नमी और अन्य कणों को हटाने के लिए एक परिष्कृत निस्पंदन प्रणाली से गुजरना पड़ता है ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि वेफर का कोई संदूषण नहीं है।
क्या श्रेणियां हैंवैक्यूम पंप और कंप्रेसर?
अर्धचालक उपकरणों में, सूखे पंप और आणविक पंप आमतौर पर उपयोग किए जाते हैं। एक सूखा पंप एक वैक्यूम पंप को संदर्भित करता है जो तेल वाष्प संदूषण की समस्या से बचने के लिए, सीलिंग या कूलिंग माध्यम के रूप में किसी भी तरल का उपयोग नहीं करता है। यह आम तौर पर अर्धचालक उपकरणों के किसी न किसी वैक्यूम निष्कर्षण के लिए उपयोग किया जाता है। आणविक पंप अत्यधिक उच्च वैक्यूम स्तर प्राप्त कर सकते हैं। सूखे पंप और आणविक पंप अक्सर विभिन्न वैक्यूम स्तरों की जरूरतों को पूरा करने के लिए अर्धचालक उपकरणों में संयोजन में उपयोग किए जाते हैं।
कंप्रेशर्स को पिस्टन, स्क्रू, सेंट्रीफ्यूगल, रोटरी वेन एयर कंप्रेशर्स, आदि में विभाजित किया जा सकता है।
वैक्यूम पंप और कंप्रेसर के विभिन्न डिजाइनों और कार्य सिद्धांतों के कारण, वैक्यूम पंप आमतौर पर कंप्रेशर्स को बदल नहीं सकते हैं। हालांकि वैक्यूम पंप गैसों के दबाव और घनत्व को कम कर सकते हैं, वे गैसों को छोटे संस्करणों और उच्च दबावों में संपीड़ित नहीं कर सकते हैं। इसके अलावा, वैक्यूम पंपों के सीमित प्रदर्शन और काम करने की विशेषताओं के कारण, वे कम घनत्व वाली गैसों और कम दबाव वाले वातावरण को संभालने के लिए सबसे उपयुक्त हैं।
इसलिए, यदि गैस को एक छोटी मात्रा और उच्च दबाव में संकुचित करने की आवश्यकता है, तो एक कंप्रेसर का उपयोग किया जाना चाहिए। इसके विपरीत, यदि गैस को निकालने की आवश्यकता होती है और एक वैक्यूम स्थिति बनती है, तो एक वैक्यूम पंप का उपयोग किया जाना चाहिए।
हालांकि दोनोंवैक्यूम पंप और कंप्रेसरगैस को संसाधित करने के लिए उपयोग किए जाने वाले उपकरण हैं, डिजाइन और कार्य सिद्धांत में बहुत अंतर हैं। यद्यपि वैक्यूम पंप गैस के दबाव और घनत्व को कम कर सकता है, यह कंप्रेसर को प्रतिस्थापित नहीं कर सकता है, खासकर जब गैस को एक छोटी मात्रा और उच्च दबाव में संकुचित करने की आवश्यकता होती है।
